氣冷羅茨螺桿泵真空機組以ZJ型或ZJP型羅茨真空泵為主泵或中間泵，以VPS螺桿真空泵為前級泵的成套高真空獲得設備，其結構緊湊，操作方便。機組除了主泵及前級泵或中間泵外，還包括連接管道、不銹鋼波紋管、電接點壓力表和電氣控制箱等附件。
目前氣冷羅茨螺桿泵真空機組上采用的羅茨泵為普通ZJ型或ZJP型羅茨泵，由于ZJ型或ZJP型羅茨泵必須在真空系統被前級泵抽到羅茨泵的允許起動壓力后才可起動羅茨泵工作。因此，一般在機組進氣口處須安裝電接點壓力表，通過電接點壓力表可控制羅茨泵的啟動和停機。即當前級VPS螺桿泵起動后開始對系統進行預抽,當系統壓力(即羅茨泵進氣口處壓力)達到允許羅茨泵啟動的設定壓力(即電接點壓力表綠針所指壓力值)時，羅茨泵就可起動工作。如果在機組各泵已處于正常工作情況下，由于發生特殊情況當羅茨泵進氣口壓力高于電接點壓力表上綠針所指值時，羅茨泵立即會自動停機，這樣就可實現羅茨泵的自動過載保護，從而可以避免機組出現過載和過熱而導致機組發生故障。
氣冷羅茨螺桿泵真空機組的特點：
1、在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；
2、轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；
3、泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；
4、泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
5、壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；
6、轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難
