不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套氣冷羅茨滑閥泵真空機組來完成。即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來，高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機組。這有幾方面的原因，流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。而當(dāng)前級泵達(dá)到這一臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求，必然會引起氣冷羅茨滑閥泵真空機組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵，便可起到承上啟下的作用，流量連續(xù)，而且各泵皆可工作在*狀態(tài)。
羅茨泵能工作在中真空范圍，是的，故又稱羅茨增壓泵，由于其壓縮比不高，正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當(dāng)三級高真空機組進入較高的真空度時，由于主泵的排氣流量明顯減少，此時僅靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續(xù)性，在實際運用中這是經(jīng)常采用的方法，這樣可減少機組的能耗。往往需要三級機組的另一個原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強，傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級泵必須預(yù)抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間，因為隨著壓力降低泵的抽速在減小，特別是對于周期性抽氣的真空機組，對達(dá)到工作真空度的時間是有要求的，預(yù)抽時間越長，進入工作真空度的時間也越長，故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合，可在較短的時間達(dá)到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力，保證了設(shè)備的使用效率。
在進行真空包裝時使用，經(jīng)常會由于使用不當(dāng)或者維修不及時造成對機器的損害，對氣冷羅茨滑閥泵真空機組的保養(yǎng)需要有以下幾點：
一，對于一臺機械來說重要部位當(dāng)屬機芯，因此我們要每周一次檢查油位及油的顏色，如果油位低于“MIN”標(biāo)記，請加油；如果油位超過“MAX”標(biāo)記，放掉部分油，或者是由于冷凝物過多而稀釋了真空泵油，這需要全部更換真空泵油，必要時請更換氣鎮(zhèn)閥。
二，真空泵是核心部件，對真空泵油的要求也很好，真空泵油必須是光亮、清晰的，不能有一點起泡沫或渾濁，油靜止沉淀后有不能消失的乳白色物質(zhì)說明有外來物質(zhì)進入，必須更換新油。
三，定期清洗真空包裝機各個部件，并每月一次檢查進氣過濾器及排氣過濾器，每年一次更換排氣過濾器，清洗或更換進氣過濾器(用壓縮空氣清洗)。
四，每天清理機器內(nèi)雜物，半年一次清洗真空泵泵腔內(nèi)的灰塵、污垢，清洗風(fēng)扇引擎罩、風(fēng)扇輪、通風(fēng)格柵、冷卻翅片(用壓縮空氣清洗)。每500-2000小時更換真空泵油及油過濾器。
